應(yīng)用領(lǐng)域
Application area
聯(lián)系我們
contact us
上海測宇科學(xué)儀器科技有限公司
地 址：上海市嘉定區(qū)真南路4929古漪商務(wù)大廈603室
聯(lián)系人：孟先生 13585785050
總 機(jī)：021-65142150，65029510
傳 真：021-65029530
郵 編：200092
E-mail：738304336@qq.com mengjiaming@rigaku.com.cn
節(jié)假日請撥打： 13585785050
您當(dāng)前位置：網(wǎng)站首頁 > 應(yīng)用領(lǐng)域
薄膜分析
X射線衍射對于研究外延層和其他薄膜材料具有特殊價(jià)值。采用精密的晶格參數(shù)的測量方法，可以很準(zhǔn)確的確定晶格的外延層及其基底。在外延器件中晶格參數(shù)匹配或不匹配是一個(gè)重要因素如磁泡存儲(chǔ)器的磁性石榴石薄膜，LED用摻雜砷化鎵薄膜和高速晶體管和其他重要的電子產(chǎn)品。對于薄膜X射線衍射的另一個(gè)應(yīng)用是使用高溫衍射通過測定晶格參數(shù)隨溫度的變化來確定熱膨脹系數(shù)。
系統(tǒng)
-
搖擺曲線: SmartLab?, Ultima IV
-
倒易空間圖測量: SmartLab?, Ultima IV
-
膜厚測量，粗糙度，密度: SmartLab?, Ultima IV
-
反射測量: SmartLab?， Ultima IV
-
In-plane晶體結(jié)構(gòu)評價(jià): SmartLab?, Ultima IV
-
In-plane衍射: SmartLab?, Ultima IV
-
相分析，擇優(yōu)取向，畸變，殘余應(yīng)力: SmartLab?, Ultima IV
-
極圖，薄膜衍射: SmartLab?, Ultima IV
-
混合晶體成分比例，晶格畸變: SmartLab?
-
外延層厚: SmartLab?
-
超晶格的周期性結(jié)構(gòu)評價(jià): SmartLab?
-
實(shí)驗(yàn)室XRR: SmartLab?, Ultima IV
-
高功率 θ/θ測角儀系統(tǒng): TTRAX III
X射線衍射對于研究外延層和其他薄膜材料具有特殊價(jià)值。采用精密的晶格參數(shù)的測量方法，可以很準(zhǔn)確的確定晶格的外延層及其基底。在外延器件中晶格參數(shù)匹配或不匹配是一個(gè)重要因素如磁泡存儲(chǔ)器的磁性石榴石薄膜，LED用摻雜砷化鎵薄膜和高速晶體管和其他重要的電子產(chǎn)品。對于薄膜X射線衍射的另一個(gè)應(yīng)用是使用高溫衍射通過測定晶格參數(shù)隨溫度的變化來確定熱膨脹系數(shù)。
系統(tǒng)
- 搖擺曲線: SmartLab?, Ultima IV
- 倒易空間圖測量: SmartLab?, Ultima IV
- 膜厚測量，粗糙度，密度: SmartLab?, Ultima IV
- 反射測量: SmartLab?， Ultima IV
- In-plane晶體結(jié)構(gòu)評價(jià): SmartLab?, Ultima IV
- In-plane衍射: SmartLab?, Ultima IV
- 相分析，擇優(yōu)取向，畸變，殘余應(yīng)力: SmartLab?, Ultima IV
- 極圖，薄膜衍射: SmartLab?, Ultima IV
- 混合晶體成分比例，晶格畸變: SmartLab?
- 外延層厚: SmartLab?
- 超晶格的周期性結(jié)構(gòu)評價(jià): SmartLab?
- 實(shí)驗(yàn)室XRR: SmartLab?, Ultima IV
- 高功率 θ/θ測角儀系統(tǒng): TTRAX III
